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电镀设备

利用于双大马士革电镀工艺

征途国际官网上海多阳极部门电镀设备利用于55/40/28和28纳米以下的大马士革铜金属层沉积。。。。。。。。

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重要优势

脉冲部门电镀技术

合用于超薄种子层

高产能

独立�？？？？？？ ？？樯杓�

低耗材成本COC和运行成本COO







个性和规格

设备利用于300毫米晶圆

最多可配至3个Load Port

最多可配至4个电镀腔体建设脉冲部门电镀职能

最多可配至4 个洗濯腔体

最多可配至8个退火腔体

电镀均一性:
　　　　　WIWNU  < 1.5%
　　　　　WTWNU < 1.5%

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