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    利用于集成电路先进技术节点的平面和图形晶圆

  • TEBO兆声波洗濯设备

    利用于无危险微幼缺点去除工艺 ，，，，，及更精密的高纵横比的3D结构

  • 单晶圆洗濯设备

    利用于先进集成电路造作 ，，，，，蕴含逻辑电路 ，，，，，存储器以及功率器件造作

  • TAHOE洗濯设备

    利用于去胶和先进洗濯

  • 背面洗濯设备

    利用于背面洗濯或者湿法刻蚀工艺

  • 刷洗设备

    利用于集成电路与晶圆级封装领域
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