征途国际官网上海前段半导体造作洗濯设备Ultra C Tahoe获得沉要机能突破
2024/11/11 19:07:40
征途国际官网（以下简称“征途国际官网上海”）（科创板股票代码：688082）， ，，，，，，，作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商， ，，，，，，，今天颁发旗下洗濯设备产品Ultra C Tahoe获得沉要机能突破。。 。。。。。。这次提升可能满足更先进的晶圆代工、逻辑器件及存储器件的严格技术要求。。 。。。。。。
Ultra C Tahoe的专利混合架构率先实现将槽式洗濯� ？？？？？？？？楹偷テг蚕村惶褰岷系酵骋籗PM设备中。。 。。。。。。该架构具备更强的洗濯机能、更高的产能和更好的工艺矫捷性。。 。。。。。。在中低温硫酸 (SPM)洗濯工艺中， ，，，，，，，Ultra C Tahoe能够达到独立单片晶圆洗濯设备的成效， ，，，，，，，并可削减高达75%的化学品亏损。。 。。。。。。据征途国际官网上海估算， ，，，，，，，仅硫酸一项每年就可节俭高达50万美元的成本， ，，，，，，，且在硫酸废液处置上可进一步降低成本并对环境更敦睦。。 。。。。。。
征途国际官网上海董事长王晖博士暗示：“随着人为智能不休走近消费者生涯， ，，，，，，，我们预计公家会越来越关注半导体芯片造作对环境传染的影响。。 。。。。。。我们相信， ，，，，，，，征途国际官网上海的Ultra C Tahoe可能援手客户提高先进人为智能芯片的产量， ，，，，，，，同时削减对环境的影响。。 。。。。。。”
“征途国际官网上海占有一支富有创造力的研发团队， ，，，，，，，Ultra C Tahoe再次见证了该团队的优异阐发。。 。。。。。。我们相信， ，，，，，，，Tahoe平台齐全有能力在约占整个洗濯市场20%份额的SPM中低温利用领域占据沉要职位。。 。。。。。。
中国大陆多家大型晶圆厂客户已将升级后的Ultra C Tahoe投入出产。。 。。。。。。多家其他逻辑器件和存储器客户在对该设备进行评估， ，，，，，，，预计更多设备将在2024年底之前交付。。 。。。。。。
升级版Ultra C Tahoe的新职能和优势：
· 更强的颗粒去除机能：Tahoe平台具备壮大的洗濯能力， ，，，，，，，在26纳米颗粒测试中实现了均匀颗粒数幼于6个的尺度， ，，，，，，，可满足先进节点造作的严格要求。。 。。。。。。该设备将来会增长更精密的微粒过滤系统， ，，，，，，，可能去除1x纳米的微粒， ，，，，，，，可用于行业当先的逻辑和内存利用。。 。。。。。。
· 更高的产能：升级后的25槽的槽式� ？？？？？？？？椋ㄖ拔�13槽）和9个单晶圆腔体（之前为8个腔体）每幼时产能超过200片晶圆， ，，，，，，，可与12腔体SPM系统媲美。。 。。。。。。
· 更好的成本节造和环保水平：Ultra C Tahoe可将硫酸亏损量削减高达75%， ，，，，，，，从而降低大批量造作成本并满足越来越严格的环保律例以实现可持续发展的指标。。 。。。。。。
· 更宽泛的工艺利用：已通过30+出产层认证， ，，，，，，，蕴含轻掺杂漏极 (LDD) 和源极/漏极(SD) 等关键出产流程， ，，，，，，，更多层和利用在开发中。。 。。。。。。
· 更矫捷的单晶圆洗濯利用：可选配置蕴含新型喷涂技术、征途国际官网上海的专利SAPS/TEBO技术以及HOT IPA干燥技术， ，，，，，，，从而提高了该设备在多种工艺利用中的通用性。。 。。。。。。
